[发明专利]防尘薄膜组件框架把持装置及防尘薄膜组件框架把持方法有效

专利信息
申请号: 201980009593.9 申请日: 2019-01-21
公开(公告)号: CN111630453B 公开(公告)日: 2023-08-25
发明(设计)人: 米泽良;佐藤敬行;及川昴 申请(专利权)人: 株式会社V技术
主分类号: G03F1/62 分类号: G03F1/62;G03F1/64;H01L21/673
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 佟胜男
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 防尘 薄膜 组件 框架 把持 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种防尘薄膜组件框架把持装置,其把持防尘薄膜组件中的防尘薄膜组件框架,并将所述防尘薄膜组件粘贴于在铅垂方向上保持的板状的掩模,所述防尘薄膜组件具有:中空筒状的所述防尘薄膜组件框架;防尘薄膜,其以覆盖所述防尘薄膜组件框架的中空部的方式设置于所述防尘薄膜组件框架的与该防尘薄膜组件框架的外周面正交的第一面;以及粘接构件,其设置于与所述第一面平行的第二面,其特征在于,

所述防尘薄膜组件框架把持装置具备:

框体,其是将多个棒材组合成矩形形状而成的框状的构件;

防尘薄膜组件把持部,其设置于所述框体,对所述防尘薄膜组件框架的所述外周面进行把持;

计测部,其设置于所述框体;以及

控制部,其对所述框体、所述防尘薄膜组件把持部以及所述计测部进行控制,

所述计测部设置为能够在该计测部的前端与所述掩模重叠的第一位置、和所述前端与所述防尘薄膜组件框架重叠的第二位置之间移动,

从与所述棒材的延伸设置方向正交的方向观察时,所述防尘薄膜组件把持部与所述计测部设置于不同的位置,

在所述防尘薄膜组件把持部把持所述防尘薄膜组件框架,并且将所述框体沿垂直方向延伸设置以使所述粘接构件与所述掩模抵接的状态下,所述控制部将所述计测部配置于所述第一位置以测定所述计测部的反射部到所述掩模的表面的距离即第一距离,使所述计测部向所述第二位置移动以测定所述计测部的反射部到所述防尘薄膜的距离即第二距离。

2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件框架把持装置,其特征在于,

所述防尘薄膜组件把持部具有防尘薄膜组件把持构件,该防尘薄膜组件把持构件设置为能够在与所述外周面抵接的抵接位置、和不与所述外周面抵接的退避位置之间,沿水平方向或垂直方向移动,

所述框体能够沿水平方向移动,

所述控制部将所述防尘薄膜组件把持构件向所述抵接位置配置以把持所述防尘薄膜组件框架,在将所述框体沿垂直方向延伸设置的状态下使所述框体沿水平方向移动以使所述粘接构件与所述掩模抵接,将所述计测部配置于所述第一位置以测定所述第一距离,使所述计测部向所述第二位置移动以测定所述第二距离,在所述第一距离与所述第二距离之差为阈值以下的情况下,能够使所述防尘薄膜组件把持构件从所述抵接位置向所述退避位置移动。

3.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件框架把持装置,其特征在于,

所述计测部在使所述粘接构件与所述掩模抵接时的姿态下,具有设置于所述框体的上侧且左端的第一计测部、以及设置于所述框体的上侧且右端的第二计测部。

4.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件框架把持装置,其特征在于,

所述框体在使所述粘接构件与所述掩模抵接时的姿态下,具有铅垂地延伸设置的棒状的第一纵框部及第二纵框部、以及在所述第一纵框部及所述第二纵框部的上端水平地延伸设置的上框部,

所述第一纵框部以及所述第二纵框部能够沿着所述上框部的延伸设置方向移动,

所述上框部能够沿着所述第一纵框部以及所述第二纵框部的延伸设置方向移动,

所述防尘薄膜组件把持部设置于所述第一纵框部以及所述第二纵框部,

所述计测部设置于所述上框部。

5.根据权利要求4所述的防尘薄膜组件框架把持装置,其特征在于,

所述框体具有下框部,该下框部在所述第一纵框部以及所述第二纵框部的下端水平地延伸设置,

所述计测部具有设置于所述下框部的第三计测部。

6.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件框架把持装置,其特征在于,

在使所述粘接构件与所述掩模抵接时,所述框体以上端侧的所述第二面与所述掩模之间的距离比下端侧的所述第二面与所述掩模之间的距离近的方式倾斜。

7.一种防尘薄膜组件框架把持方法,其把持防尘薄膜组件中的防尘薄膜组件框架,并将所述防尘薄膜组件粘贴于在铅垂方向上保持的板状的掩模,所述防尘薄膜组件具有:中空筒状的所述防尘薄膜组件框架;防尘薄膜,其以覆盖所述防尘薄膜组件框架的中空部的方式设置于所述防尘薄膜组件框架的与该防尘薄膜组件框架的外周面正交的第一面;以及粘接构件,其设置于与所述第一面平行的第二面,其特征在于,

在所述防尘薄膜组件框架把持方法中,

将以能够沿水平方向移动的方式设置于框体的防尘薄膜组件把持构件配置于与所述外周面抵接的抵接位置以把持所述防尘薄膜组件框架,

在把持所述防尘薄膜组件框架的状态下使所述框体平行移动以使所述粘接构件与所述掩模抵接,

将设置于所述框体的计测部配置于该计测部的前端与所述掩模重叠的第一位置,以测定所述计测部的反射部到所述掩模的表面的距离即第一距离,

使所述计测部向所述前端与所述防尘薄膜组件框架重叠的第二位置移动,以测定所述计测部的反射部到所述防尘薄膜的距离即第二距离,

在所述第一距离与所述第二距离之差为阈值以下的情况下,能够使所述防尘薄膜组件把持构件从所述抵接位置向不与所述外周面抵接的退避位置移动。

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