[发明专利]一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试方法有效

专利信息
申请号: 202010942378.9 申请日: 2020-09-09
公开(公告)号: CN112180160B 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 潘凌锋;郭彬;陈浙泊;陈一信;余建安;林建宇;颜文俊;林斌;周巍;白振兴;吴荻苇 申请(专利权)人: 浙江大学台州研究院
主分类号: G01R23/02 分类号: G01R23/02;G01R29/027;G01R29/033
代理公司: 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 代理人: 董世博;赵志鹏
地址: 318000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 sc 石英 晶片 在线 研磨 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种SC切型石英晶片在线研磨的测频测试方法,其特征在于,包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能;具体过程如下:

1.1)参数设置步骤:读取系统中掉电存储模块内测频测试参数和SC切型石英晶片设置参数;

测频测试参数,通过掉电存储模块读取,其包括扫频参数和测频参数;其中扫频参数包括扫频起始频率和扫频截止频率、扫频步进、扫频速度、扫频幅度,测频参数包括高频搜索宽度、低频搜索宽度和峰值约束; SC切型石英晶片设置参数,通过掉电存储模块读取,其包括SC频率比、频率比上限、频率比下限;SC频率比为SC切型石英晶片高频频率和低频频率的比值;

对上述参数进行约束条件判断,若上述参数存在不满足约束条件的情况,则将其根据新设置的值写入到掉电存储模块内,若掉电存储模块中不存在上述参数,则将上述参数设置为默认值,并将其写入掉电存储模块;

其中,扫频截止频率和扫频起始频率的差值为扫频范围,扫频起始频率和扫频截止频率的取值范围为1MHz~120MHz,同时扫频截止频率至扫频起始频率必须满足大于0MHz小于20MHz,若不满足则将起始频率和截止频率设置为默认值,起始频率默认值为9MHz,截止频率默认值为11MHz;

扫频步进的取值范围为100Hz~8000Hz,若不满足条件,则根据扫频范围设置扫频步进,当扫频范围小于2MHz时,设置扫频步进为1000Hz,当扫频范围为2MHz~4MHz,设置扫频步进为2000Hz,当扫频范围为4MHz~6MHz,设置扫频步进为3000Hz,当扫频范围大于6MHz,设置扫频步进为4000Hz;

扫频速度的取值范围为2uS~100uS,若不满足条件,则设置为默认值50uS;

扫频范围、扫频步进和扫频速度三者之间需满足的约束条件为:(扫频范围/扫频步进*扫频速度)4mS,若不满足,需将这几个参数设置为默认值

将上述测频测试参数和SC切型石英晶片参数分别发送给显示模块显示,用户根据需要进行参数修改,若修改后的参数与当前MCU中存储的值不同,则将MCU中的值更新为显示的新参数值;

1.2)扫频准备步骤:对测频测试功能的相关变量进行初始化,变量包括界面显示的变量、统计变量和测频变量;在扫频模块开始扫频前,先将上升沿和下降沿的信号采样次数清零,将上升沿和下降沿扫频信号采样完成标志位清零;根据测频测试的界面中设置的扫频参数设置扫频模块的参数、控制扫频模块进行扫频;

1.3)波形匹配步骤:步骤1.2)中若上升沿或者下降沿采样完成,则进入单次扫频双谐振频率波形匹配功能,单次扫频双谐振频率波形匹配后进行单次扫频谐振频率数据处理,获得单位时间内高频谐振频率和低频谐振频率的平均值,用于下次数据处理比较使用,同时将单次扫频相关变量清零;当单位时间内数据处理中设定的单位时间到达后,进行相关的数据处理,对单位时间内测到的所有高频和低频谐振频率求平均值和标准差,得到实时峰高和谐振宽度的平均值,高频频率和低频频率的比值,同时设置界面测频结果指示灯,并将相关数据处理完成后,将这些数据发送给显示模块进行显示,完成本轮单位时间内的测频过程后,将高频谐振频率平均值的初始值设置为扫频截止频率,低频谐振频率平均值的初始值设置为扫频起始频率,同时将高频和低频对应的频率、峰高、线宽统计变量清零。

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