[发明专利]一体化微型气体吸收池

权利要求书

1.一种一体化微型气体吸收池，其特征在于，包括顶板、底板以及设于顶板和底板之间的两个反射镜-微纳透镜一体化元件和两个密封板；

所述顶板和底板上开有通气孔，用于气体的出入；所述的顶板和底板上还开有反射镜限位卡槽和密封板限位卡槽，分别用于固定反射镜-微纳透镜一体化元件和密封板；所述的顶板和底板由硅晶圆加工而成，反射镜限位卡槽、密封板限位卡槽及通气孔均利用光刻及深硅刻蚀工艺制备得到；

所述的两个反射镜-微纳透镜一体化元件均由透明基板、设于透明基板正面的微纳透镜及反射镜和设于透明基板背面的增透膜组成，透明基板正面朝向吸收池内部，背面朝向吸收池外部；所述的微纳透镜为超表面透镜；两个反射镜-微纳透镜一体化元件相对设置，且两个超表面透镜彼此错开；两个反射镜-微纳透镜一体化元件的超表面透镜外侧分别设有可调激光器和探测器；

气体吸收池装配好之后对各部件的衔接处进行密封；

所述的反射镜由多层高反射率膜系或高对比度光栅反射镜构成，其对传感检测所用激光的反射率99％，光在两个相对的反射镜之间往复反射上百次。

2.如权利要求1所述的一体化微型气体吸收池，其特征在于，所述的反射镜采用金属反射镜、多层介质薄膜反射镜、衍射结构反射镜或超表面材料反射镜中的一种。

3.如权利要求1所述的一体化微型气体吸收池，其特征在于，所述的超表面透镜设于反射镜-微纳透镜一体化元件的一端。

4.如权利要求1所述的一体化微型气体吸收池，其特征在于，所述的反射镜-微纳透镜一体化元件通过半导体工艺将透镜及反射镜进行一体化制备，实现透镜光轴和反射镜光轴的精确对位。

5.如权利要求1所述的一体化微型气体吸收池，其特征在于，所述的透明基板的材料为对所采用的探测激光波长无吸收的硬质材料，透明基板上集成有电互联线，用于为可调激光器和探测器的供电和控制提供电互联。

6.如权利要求1所述的一体化微型气体吸收池，其特征在于，所述的通气孔中填充有悬浮颗粒物及特定气体分子的过滤或富集材料，用于保证吸收池腔室的洁净以及特定干扰气体的排除。

7.如权利要求1所述的一体化微型气体吸收池，其特征在于，所述的顶板上还设有可调激光器卡槽和探测器卡槽，分别用于固定可调激光器和探测器。

8.一种一体化微型气体吸收池，其特征在于，该吸收池的结构与权利要求1所述的吸收池的区别在于，所述的两个反射镜-微纳透镜一体化元件中：

其中一个反射镜-微纳透镜一体化元件由透明基板、设于透明基板正面的反射镜及设于透明基板背面的增透膜组成；

另一个反射镜-微纳透镜一体化元件由透明基板、设于透明基板正面的-微纳透镜及反射镜和设于透明基板背面的增透膜组成，所述的设于透明基板正面的微纳透镜有两片，分别设于透明基板的两端。