[发明专利]一种单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：

副室主体，所述副室主体内形成有副腔室；

上观察窗，所述上观察窗设置在所述副室主体上端前方，所述上观察窗包括上观察窗门，所述上观察窗门的一侧通过第一合页转动连接在所述副室主体上且另一侧设有第一连接部以打开/闭合所述上观察窗门；

气动单晶托，所述气动单晶托设置在所述副室主体下端侧面用于承托硅棒；

定位导向机构，所述定位导向机构设置在所述副室主体下端前侧，用于在所述单晶炉与旋阀进行连接时连接所述旋阀顶端。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，所述气动单晶托包括：

连接板安装座，所述连接板安装座固定在所述副室主体下端侧面；

单晶托盘连接板，所述单晶托盘连接板一端可转动地连接所述连接板安装座；

单晶托盘，所述单晶托盘可拆卸地连接在所述单晶托盘连接板的另一端且所述单晶托盘可转动到所述副室主体下端前侧；

气缸装置，所述气缸装置安装在所述副室主体上且位于所述连接板安装座的上端，所述气缸装置连接所述单晶托盘连接板以带动所述单晶托盘连接板旋转。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述气缸装置包括：

气缸连接座，所述气缸连接座安装在所述单晶托板连接板上；

气缸安装座，所述气缸安装座固定在所述副室主体侧面且位于所述连接板安装座的上端；

气缸，所述气缸的一端可转动地连接所述气缸安装座，所述气缸的另一端连接有鱼眼接头，所述鱼眼接头连接所述气缸连接座。

4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，所述气缸安装座包括两个，两个所述气缸安装座分别设置在所述副室主体的两侧。

5.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述定位导向机构包括：

导向座安装块，所述导向座安装块焊接在所述副室主体下端前侧；

导向座，所述导向座安装在所述导向座安装块上远离所述副室主体的一端且所述导向座表面开设有安装孔，所述安装孔内设有尼龙衬套以与单晶炉炉盖上的旋阀上安装的导向柱相配合。

6.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，还包括：

下观察窗，所述下观察窗设置在所述副室主体下端前方，所述下观察窗包括下观察窗门，所述下观察窗门的一侧通过第二合页转动连接在所述副室主体上且另一侧设有第二连接部以打开/闭合所述下观察窗门；

导向块，所述导向块设置在所述副室主体上且位于所述下观察窗的下方，用于引导所述下观察窗门闭合。

7.根据权利要求6所述的单晶炉，其特征在于，还包括连接卡盘，所述连接卡盘连接在所述副室主体的底端法兰上方，用于连接所述副室主体与旋阀，所述连接卡盘包括：

连接环，所述连接环顶端四周开设有用于连接所述旋阀的一个或多个连接孔；

到位检测装置及开合检测装置，所述到位检测装置与所述开合检测装置在所述连接环周向上间隔开设置，所述连接环前侧粘贴有连接卡盘动作变换指示箭头，且在所述副室主体底端位于所述连接卡盘动作变换指示箭头的下方处粘贴有开合指示标签，到位检测装置及开合检测装置用于结合连接卡盘动作变换指示箭头以及所述开合指示标签检测所述副室主体与所述旋阀之间的连接状态；

旋转手柄，所述旋转手柄固定在所述连接环上以旋转所述连接卡盘。