[发明专利]低温泵

权利要求书

1.一种低温泵，其包括：

泵入口；

两级制冷机；

第一级阵列，所述第一级阵列热耦合到所述两级制冷机的第一级；以及

低温面板结构，所述低温面板结构耦合到所述两级制冷机的第二级并且包括多个低温面板；其中

所述多个低温面板各自包括两个表面，所述两个表面包括涂覆有吸附剂材料的经涂覆的表面和未涂覆所述吸附剂材料的另一个表面；

所述第一级阵列包括对应于所述多个低温面板的多个元件；

所述多个元件被配置成安装在所述泵入口与所述多个低温面板之间；其中

所述多个元件中的每一者从对应低温面板与所述泵入口之间的位置朝向邻近低温面板延伸并且朝向所述入口倾斜，使得所述多个元件中的每一者至少部分地屏蔽所述邻近低温面板的经涂覆的表面使其免受通过所述泵入口的气体分子的直接冲击。

2.根据任一前述权利要求所述的低温泵，其中所述低温面板结构被配置和安装成使得进入所述低温泵的分子最有可能首先冲击的所述低温面板结构的表面是所述低温面板结构表面的所述其他部分。

3.根据任一前述权利要求所述的低温泵，其中所述第一级阵列和所述低温面板结构被配置成使得在所述泵入口与所述低温面板的所述表面的所述经涂覆的部分之间不存在视线路径。

4.根据任一前述权利要求所述的低温泵，其中所述多个低温面板包括多个平面型的低温面板，所述低温面板的一侧包括所述经涂覆的表面，而另一侧包括所述另一个表面。

5.根据任一前述权利要求所述的低温泵，其中所述多个低温面板包括具有不同直径的多个同轴的圆柱形低温面板。

6.根据权利要求5所述的低温泵，其中所述圆柱形低温面板的外表面包括所述经涂覆的表面，并且内表面包括所述另一个表面。

7.根据在从属于权利要求5或6时的任一前述权利要求所述的低温泵，其中所述第一阵列的所述多个元件包括具有不同直径的多个同轴的截头圆锥形元件。

8.根据任一前述权利要求所述的低温泵，其中所述吸附剂材料被配置成吸附III类气体，诸如在III类气体的情况下，诸如氢气、氦气和氖气，

9.根据任一前述权利要求所述的低温泵，其中所述吸附剂材料包括涂覆所述经涂覆的表面的分子筛。

10.根据任一前述权利要求所述的低温泵，其中所述吸附剂材料包括以下中的一者：生物炭、活性碳、沸石或多孔金属表面。