[发明专利]光致抗蚀剂移除剂组合物在审
| 申请号： | 202180084072.7 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN116568794A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 吴恒鹏;D·伦尼 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D11/00 | 分类号： | C11D11/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 姜煌 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂移 组合 | ||
1.一种组合物，其基本上由以下组分组成：
至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物中之一；
主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物，
任选的辅助溶剂，其为乙醇酸类衍生物或至少两种乙醇酸类衍生物的混合物，及任选的表面活性剂；
2.根据权利要求1的组合物，其由以下组分组成：
至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物中之一；
主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物，
任选的辅助溶剂，其为乙醇酸类衍生物或至少两种乙醇酸类衍生物的混合物，及任选的表面活性剂；
3.根据权利要求1的组合物，其基本上由以下组分组成：
至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物中之一；
主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物；及辅助溶剂，其为乙醇酸类衍生物或至少两种乙醇酸类衍生物的混合物。
4.根据权利要求1至3中任一项的组合物，其由以下组分组成：
至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物中之一；
主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物；及辅助溶剂，其为乙醇酸类衍生物或至少两种乙醇酸类衍生物的混合物。
5.根据权利要求1的组合物，其基本上由以下组分组成：
至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物中之一；主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物；及辅助溶剂，其为乙醇酸类衍生物或至少两种乙醇酸类衍生物的混合物；以及表面活性剂。
6.根据权利要求1或2的组合物，其由以下组分组成：
至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物中之一；
主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物；及辅助溶剂，其为乙醇酸类衍生物或至少两种乙醇酸类衍生物的混合物；以及表面活性剂。
7.根据权利要求1的组合物，其基本上由以下组分组成：至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物；主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物中之一；及
表面活性剂。
8.根据权利要求1或2的组合物，其由以下组分组成：
至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物；
主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物中之一；及
表面活性剂。
9.根据权利要求1的组合物，其基本上由以下组分组成：
至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物中之一；及
主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物。
10.根据权利要求1或2的组合物，其由以下组分组成：
至少一种具有结构(I)的磺基水杨酸、其水合物或该磺基水杨酸与其水合物的混合物中之一；及
主溶剂，其选自丙酮及甲基乙基酮，或这些溶剂的混合物。
11.根据权利要求1至10中任一项的组合物，其中所述磺基水杨酸为具有结构(Ia)的磺基水杨酸或其水合物：
12.根据权利要求1至10中任一项的组合物，其中所述磺基水杨酸为具有结构(Ib)的磺基水杨酸或其水合物：
13.根据权利要求1至10中任一项的组合物，其中所述磺基水杨酸为具有结构(Ic)的磺基水杨酸或其水合物：
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