[实用新型]一种合成石英玻璃沉积用节能插板有效
申请号: | 202220455617.2 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN216639283U | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 王海亮;徐秀杰;崔超;牛纯富 | 申请(专利权)人: | 陕西士成海普新材料有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 宁波海曙甬睿专利代理事务所(普通合伙) 33330 | 代理人: | 王洋 |
地址: | 715405 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 合成 石英玻璃 沉积 节能 插板 | ||
1.一种合成石英玻璃沉积用节能插板,包括楼板(3),其特征在于:所述楼板(3)底部设置有节能插板主体(4),且节能插板主体(4)包括导轨(20)、光栅尺(21)、第一挡板(5)、第二挡板(12)、第一气缸(11)、第二滑块(22)和观察孔(19),所述楼板(3)底部设置有导轨(20)和第一气缸(11),且导轨(20)内侧设置有光栅尺(21),所述导轨(20)底部设置有第一挡板(5)和第二挡板(12),且第一挡板(5)和第二挡板(12)的左右两侧均设置有第一气缸(11),所述第一挡板(5)和第二挡板(12)上均开设有弧形缺口,且第二挡板(12)上开设有观察孔(19),所述导轨(20)内部插设有第二滑块(22),且第二滑块(22)一侧与第一气缸(11)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种合成石英玻璃沉积用节能插板,其特征在于:所述楼板(3)顶部设置有沉积炉(6),且沉积炉(6)内部插设有砣料(9),所述砣料(9)下端连接有支撑杆(10),且砣料(9)上端设置有燃烧器(7)。
3.根据权利要求1所述的一种合成石英玻璃沉积用节能插板,其特征在于:所述第一挡板(5)下端设置有打砣机(15),且打砣机(15)一侧设置有滑台(18),并且滑台(18)顶部开设有滑槽,滑槽内部插设有第一滑块(17)。
4.根据权利要求2所述的一种合成石英玻璃沉积用节能插板,其特征在于:所述沉积炉(6)一侧设置有观察窗(1),且沉积炉(6)的另一侧设置有热电偶(8),并且热电偶(8)和观察窗(1)下端均设置有废气口(2)。
5.根据权利要求2所述的一种合成石英玻璃沉积用节能插板,其特征在于:所述支撑杆(10)外壁开设有螺纹,且支撑杆(10)外壁螺纹连接有固定套筒(14)。
6.根据权利要求3所述的一种合成石英玻璃沉积用节能插板,其特征在于:所述滑台(18)一侧设置有第二气缸(13),且第二气缸(13)一侧与第一滑块(17)相连接,所述第一滑块(17)顶部设置有螺纹杆(16),且螺纹杆(16)上端设置有支撑杆(10)。
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