[发明专利]一种硅化机构及硅化装置

权利要求书

1.一种硅化机构，其特征在于，包括：

硅化液槽，设置有封盖；

连通部，所述连通部设置有进口端和开口端，所述连通部通过所述进口端与所述硅化液槽连接并连通形成连通器结构,所述开口端供针头插入；

其中，连通器结构使所述硅化液槽和所述连通部中硅化液的液面的高度一致，所述针头从所述开口端插入硅化液中实现硅化。

2.根据权利要求1所述的硅化机构，其特征在于，所述硅化液槽包括进油槽和出油槽，所述进油槽连接有进油接头，硅化液通过所述进油接头进入所述进油槽，所述进油槽中的液面达到目标高度后，所述硅化液流入所述出油槽中，所述出油槽连接有回流接头，所述硅化液通过所述回流接头流出回收。

3.根据权利要求2所述的硅化机构，其特征在于，所述连通部与所述进油槽连通，当所述进油槽中的液面的高度达到所述目标高度，所述连通部中硅化液的液面在所述开口端处形成凸起球面，针头在所述凸起球面内硅化。

4.根据权利要求3所述的硅化机构，其特征在于，所述连通部靠近所述开口端一侧还设置有硅化液位检测器，检测所述连通部中的液面高度。

5.根据权利要求2所述的硅化机构，其特征在于，所述硅化液槽还设置有回流液位检测器，检测所述出油槽中的液面的高度，达到所述目标高度时所述进油接头停止进油。

6.根据权利要求1所述的硅化机构，其特征在于，还包括：硅化液收集器和吹气装置，所述针头从所述连通部中离开后，旋转所述针头使针尖朝向所述硅化液收集器，所述针头的注射通道连通所述吹气装置，并将所述针头的注射通道内硅化液吹出；

和/或，所述连通部还包括防挥发罩，所述防挥发罩遮盖所述连通部，所述防挥发罩设置有插入孔，所述开口端在所述插入孔处露出。

7.一种硅化装置，其特征在于，包括：

如权利要求1-6任一项所述的硅化机构；

凸轮机构，所述硅化机构固定连接在所述凸轮机构的顶部。

8.根据权利要求7所述的硅化装置，其特征在于，所述硅化装置还包括机架，所述硅化机构设置在连接件上，所述连接件与所述机架沿竖直方向上可移动连接。

9.根据权利要求8所述的硅化装置，其特征在于，所述凸轮机构配置为移动凸轮和驱动件，所述移动凸轮包括凸轮板和从动轮，所述驱动件驱动所述凸轮板相对于所述机架作水平直线运动，所述从动轮设置在所述连接件远离所述硅化机构的一端，所述从动轮在所述移动凸轮上相对于所述机架作竖直直线运动。

10.根据权利要求9所述的硅化装置，其特征在于，所述凸轮板配置为轨迹板，所述轨迹板上设置有凸轮轨迹槽，所述从动轮在所述凸轮轨迹槽中运动。