[发明专利]一种点环激光加工系统及其加工方法

权利要求书

1.一种点环激光加工系统，其特征在于，包括：激光器、扩束器、1/4波片、第一平板锥透镜、第二平板锥透镜、第三平顶锥透镜、振镜以及场镜；

所述激光器发出的激光束经过扩束器进行扩束，扩束后的光斑经过所述1/4波片、所述第一平板锥透镜和第二平板锥透镜组成的环形扩束装置形成环形光束；

通过调整所述第一平板锥透镜以及所述第二平板锥透镜的路径，使得所述环形光束经过所述第三平顶锥透镜后形成不同类型的光束；所述光束包括点光束、环光束和点环光束；

所述不同类型的光束经过所述振镜和所述场镜聚焦后到达加工面，得到不同尺寸的点光束、环光束和点环光束；当时，所述加工面上只会出现环形光束；其中，为所述第一平板锥透镜以及所述第二平板锥透镜之间的距离，m为平顶区域半径，w为光斑半径；当时，所述加工面上只会出现点光束；当时，所述加工面上出现点环光束，为衍射角度。

2.一种点环激光加工系统的加工方法，其特征在于，所述加工方法应用于权利要求1所述的点环激光加工系统，所述加工方法包括：

利用激光器发出激光束，并获取激光波长；

令所述激光束经过扩束器后得到高斯光束，并经过1/4波片后形成左旋圆偏振光；所述高斯光束为扩束后的光斑；

获取第一平板锥透镜或第二平板锥透镜的径向周期；所述第一平板锥透镜与所述第二平板锥透镜的径向周期相同；

根据所述激光波长以及所述径向周期确定衍射角度，具体包括：利用公式确定衍射角度；其中，为衍射角度，为激光波长，d为径向周期；

获取第三平顶锥透镜的平顶区域半径以及所述高斯光束的光斑半径；

基于所述衍射角度、所述平顶区域半径以及所述光斑半径，调整第一平板锥透镜以及第二平板锥透镜之间的距离，形成不同类型的光束；所述光束包括点光束、环光束和点环光束；

令所述不同类型的光束经过所述振镜和所述场镜聚焦后到达加工面，得到不同尺寸的点光束、环光束和点环光束。