[发明专利]一种可调节气体抽速的低温泵

说明书

本发明公开了一种可调节气体抽速的低温泵，其包括：泵体组件、控制组件以及场发生器。泵体组件设置有泵腔，泵腔具有抽吸开口。控制组件设置于泵腔，控制组件包括场感应件和节流件，节流件连接于场感应件，场感应件与泵体组件连接。场发生器设置于泵体组件并用于对场感应件发出控制场。其中，控制场能使得场感应件改变形状，场感应件改变形状时能使得节流件相对泵体组件产生位置变动，以使流入泵腔的流体流速能够改变。上述的低温泵，通过场发生器配合场感应件来实现泵腔的流体流速的改变，结构简单。

技术领域

本发明涉及真空泵技术领域，特别涉及一种可调节气体抽速的低温泵。

背景技术

低温泵是利用低温表面对气体分子进行冷凝、吸附和捕集，从而实现真空环境的一种真空获得设备，它具有抽气速率快、气体容量大、极限真空度高、抽气界面无运动部件以及清洁无油等优点，在半导体芯片制作工艺设备(如离子注入机、PVD)中得到广泛的应用。现有的低温泵，为了针对不同工艺过程获得较佳的使用效能，往往具有控制抽气速率的结构。在一些实施例中，可以通过在低温泵的抽吸端增加一个控制流量的阀装置来实现抽速控制，然而这种低温泵结构体积较大，成本较高，流量控制范围小；在另一种实施方式中，也可以在泵腔中设置一个类似于百叶窗的结构，其具有多个的活动叶片，活动叶片通过驱动装置驱动而作启闭的动作，从而可以改变泵腔流通流体时的有效横截面积，从而改变流体流速。百叶窗的结构可以设置于泵腔中，体积相对较小，流量控制范围较大。然而，上述的低温泵，需要设置驱动动力源和用于传递动力的机械传动机构，结构较为复杂，故障率较高。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种可调节气体抽速的低温泵，通过场发生器配合场感应件来实现泵腔的流体流速的改变，结构简单。

根据本发明实施例的一种可调节气体抽速的低温泵，其包括：泵体组件，设置有泵腔，所述泵腔具有抽吸开口；控制组件，设置于所述泵腔，所述控制组件包括场感应件和节流件，所述节流件连接于所述场感应件，所述场感应件与所述泵体组件连接；场发生器，设置于所述泵体组件并用于对所述场感应件发出控制场；其中，所述控制场能使得所述场感应件改变形状，所述场感应件改变形状时能使得所述节流件相对所述泵体组件产生位置变动，以使流入所述泵腔的流体流速能够改变。

根据本发明实施例的一种可调节气体抽速的低温泵，至少具有如下有益效果：上述的低温泵，通过场发生器来产生控制场，场感应件为场敏感元件，场感应件在控制场的作用下改变形状，从而节流件发生位置变动，改变了泵腔的有效横截面积，从而可以改变流体流速。由于采用控制场来实现对于流体流速的改变，机械机构少，无需电机或气缸驱动，机构体积小，结构简单；另外，控制场为非接触式的控制，无需设置机械传动机构，不会因机械传动机构的设置而带来密封性问题，并且在对现有低温泵改进时也容易进行，兼容性好。

根据本发明的一些实施例，所述场感应件为形状记忆合金。

根据本发明的一些实施例，所述场发生器为调温器、磁场发生器和电场发生器中的至少之一。

根据本发明的一些实施例，所述控制组件设置多个并围绕预定中心轴线周向排布，多个所述控制组件与所述抽吸开口相对，多个所述场感应件的一端连接在一起，所述节流件连接于对应的所述场感应件的另一端。

根据本发明的一些实施例，多个所述场感应件的另一端连接在一支架，多个所述场感应件通过所述支架与所述泵体组件连接。

根据本发明的一些实施例，所述泵体组件包括屏蔽罩和一级导流挡板，所述屏蔽罩形成所述泵腔，所述一级导流挡板设置于所述抽吸开口处，所述支架与所述屏蔽罩或所述一级导流挡板固定。

根据本发明的一些实施例，还包括制冷机，所述制冷机设置于所述泵体组件，所述制冷机设置有冷头，所述冷头容置于所述泵腔，所述泵体组件包括一级导流挡板，所述一级导流挡板设置于所述抽吸开口处，所述控制组件设置于所述一级导流挡板和所述冷头之间的位置。