基片处理方法和基片处理装置

专利号：CN202280019898.X

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

处理装置及定位方法

专利号：CN202280020861.9

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

路径设定系统、路径设定方法和软件

专利号：CN202310406115.X

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

基板处理装置

专利号：CN202310407798.0

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

检查装置、检查方法和存储介质

专利号：CN201880050591.X

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

探针装置

专利号：CN201880075345.X

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

检查装置系统

专利号：CN201911172981.7

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

基板搬出方法

专利号：CN201880032386.0

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

处理液喷嘴和清洗装置

专利号：CN202080064746.2

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

基片载置台、基片处理装置和基片载置台的制造方法

专利号：CN201911181295.6

公布日：2023-10-27

申请人：东京毅力科创株式会社

气体供给系统及气体供给方法

专利号：CN202310986755.2

公布日：2023-10-24

申请人：东京毅力科创株式会社

基板处理装置和基板处理方法

专利号：CN202280019521.4

公布日：2023-10-24

申请人：东京毅力科创株式会社

层叠基板的制造方法和基板处理装置

专利号：CN202280018447.4

公布日：2023-10-24

申请人：东京毅力科创株式会社

等离子体处理装置及等离子体处理方法

专利号：CN202280015232.7

公布日：2023-10-24

申请人：东京毅力科创株式会社

数据收集系统、数据收集装置、数据收集方法以及数据收集程序

专利号：CN202280017209.1

公布日：2023-10-24

申请人：东京毅力科创株式会社