[发明专利]处理液喷嘴和清洗装置有效
| 申请号： | 202080064746.2 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN114401801B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 后藤大辅;森川胜洋;古贺贵广 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一个方式的处理液喷嘴包括超声波施加部(60)、第一供给流路(71)、释放流路(72)和第二供给流路(73)。超声波施加部(60)具有产生超声波的振子(61)和与振子(61)接合的振动体(62)。第一供给流路(71)对与超声波施加部(60)的振动体(62)接触的位置供给第一液体(L1)。释放流路(72)将由超声波施加部(60)施加了超声波的第一液体(L1)供给到释放口(74)。第二供给流路(73)连接在释放流路(72)的比超声波施加部(60)靠下游侧的位置，对释放流路(72)供给第二液体(L2)。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 喷嘴 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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