[发明专利]非轴对称非球面镜的磨削加工方法无效
申请号: | 01110946.7 | 申请日: | 2001-03-05 |
公开(公告)号: | CN1311079A | 公开(公告)日: | 2001-09-05 |
发明(设计)人: | 大森整;山形丰;守安精;森田晋也;加田胜彦;吉良英隆;笹井浩行;川田胜 | 申请(专利权)人: | 理化学研究所;株式会社岛津制作所 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张天安,温大鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种非轴对称非球面镜的磨削加工方法,具备具有金属结合剂砂轮2的电解在线修整装置10,旋转式工具12,在机上进行测量的形状测量装置14以及沿X、Y、Z三轴方向对砂轮进行数值控制的数值控制装置16;通过数值控制装置16使砂轮向三轴方向移动,重复进行修整、磨削加工和机上测量。因此,能够在短时间内高精地制作具有高形状精度和优良的表面粗度,可正确地反射或吸收光的非轴对称非球面镜。 | ||
搜索关键词: | 轴对称 球面镜 磨削 加工 方法 | ||
【主权项】:
1.一种非轴对称非球面镜的磨削加工方法,其特征在于,具备:由以轴心Y为中心旋转、在其外缘上具有半径为R的圆弧面(2a)的圆板状金属结合剂砂轮(2),与该砂轮隔以间隔、相对向的电极(4),将导电性液体流入砂轮和电极之间的喷嘴(6)以及在砂轮和电极之间外加电压的外加装置(8)构成,通过电解对砂轮进行修整,同时对被加工物(1)进行磨削加工的电解在线修整装置(10);以与上述旋转轴Y垂直的X轴为中心旋转、对上述圆弧面进行精修的旋转式工具(12),在机上测量上述砂轮的圆弧面形状和被加工物(1)的加工面形状的形状测量装置(14)以及沿X、Y、Z三轴方向对上述砂轮进行数值控制的数值控制装置(16);通过数值控制装置(16)使砂轮向三轴方向移动,重复进行精修、磨削加工和机上测量。
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