[实用新型]钛铝涂层用多弧离子镀膜机无效
| 申请号： | 02277924.8 | 申请日： | 2002-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN2587884Y | 公开（公告）日： | 2003-11-26 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410012 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种钛铝镀层用多弧离子镀膜机，它主要由多弧离子镀膜炉炉壁上均匀安装多个钛铝镀层蒸发源与多个纯钛离子轰击、予镀蒸发源构成，本实用新型的优点是钛铝涂层与工件基体结合牢固，保证了钛铝镀膜涂层性能良好。且钛铝涂层多弧离子镀膜机的钛铝镀层蒸发源与纯钛离子轰击予镀蒸发源分布合理，加工工效高。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 用多弧 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
1、一种钛铝涂层用多弧离子镀膜机，它主要是由多弧离子镀膜炉炉壁上均匀安装多个钛铝镀层蒸发源构成，其特征是沿炉壁四周均匀设置多个纯钛离子轰击、予镀蒸发源。
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- 钛铝涂层用多弧离子镀膜机-02277924.8
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- 2002-12-20 - 2003-11-26 -
- 一种钛铝镀层用多弧离子镀膜机，它主要由多弧离子镀膜炉炉壁上均匀安装多个钛铝镀层蒸发源与多个纯钛离子轰击、予镀蒸发源构成，本实用新型的优点是钛铝涂层与工件基体结合牢固，保证了钛铝镀膜涂层性能良好。且钛铝涂层多弧离子镀膜机的钛铝镀层蒸发源与纯钛离子轰击予镀蒸发源分布合理，加工工效高。
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