[发明专利]细微图案修补方法和细微图案修补装置

摘要

一种当加热液体被膜形成固体被膜时不会在基板形成细裂纹和使基板破裂的细微图案修补方法和装置。使高导热板或绝热层接触于基板的背面，该基板具有在形成于其表面的细微图案的缺陷部形成含金属的液体材料的被膜，将该基板的表面加热形成固体被膜，从而修补细微图案。或者加热该基板的背面以形成固体被膜，从而修补该细微图案。按照该方法，该基板不会出现细裂纹或破裂。

主权项

1.一种细微图案修补方法，加热在形成于基板表面的细微图案的缺陷部上形成的含有金属的液体材料的液体被膜，形成金属固体被膜，从而修补细微图案；其特征在于：使高导热单元接触于上述基板的背面，从上述基板的表面侧进行加热。