[发明专利]气压传感器有效
| 申请号： | 03810067.3 | 申请日： | 2003-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1650155A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·S·纳尔逊;大卫·J·希尔曼;约翰·麦金泰尔 | 申请（专利权）人： | 罗斯蒙德公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种气压传感器(100)，包括基层(102)、传感器层(110)和参照层(120)。基层具有在压强入口(106)和安装表面(108)之间的通道(104)。通过绝缘粘结层(114)将传感器层结合至安装表面，并且该传感器层包括传导隔膜(116)。参照层装配于传感器层上以形成参照真空空腔(122)。参照层包括面向跨越参照真空空腔的传导隔膜以形成压强传感电容器的传导表面(124)。 | ||
| 搜索关键词： | 气压 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压强传感器，包括：基层，其环绕适于接收压强的入口和基层上的安装表面之间的通道；传感器层，其具有通过绝缘粘结层结合至安装表面的第一表面，所述传感器层包括与通道对准的传导隔膜；以及参照层，其装配于传感器层上以形成与传导隔膜对准的参照真空空腔，所述参照层包括面向跨越参照真空空腔的传导隔膜以形成压强传感电容器的传导表面。
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