[发明专利]高铟组分镓砷/铟镓砷量子阱结构及其制备方法无效
申请号: | 200310119746.6 | 申请日: | 2003-12-04 |
公开(公告)号: | CN1624996A | 公开(公告)日: | 2005-06-08 |
发明(设计)人: | 牛智川;徐晓华;倪海桥;徐应强;韩勤;吴荣汉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343;H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种高铟组分镓砷/铟镓砷量子阱结构,其中包括:一过渡层,在衬底表面形成完整晶体表面;一第一势垒层,形成对载流子的能量势垒,该第一势垒层制作在过渡层上面;一量子阱层,起到将发光载流子限制在该层内的作用,该量子阱层制作在势垒层上面;一第二势垒层,形成与上势垒层对称的能量势垒,该第二势垒层制作在量子阱层上面;一表面覆盖保护层,用于保护量子阱结构,和制备接触电极,该表面覆盖保护层制作在第二势垒层上面。 | ||
搜索关键词: | 组分 铟镓砷 量子 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种高铟组分镓砷/铟镓砷量子阱结构,其特征在于,其中包括:一过渡层,在衬底表面形成完整晶体表面;一第一势垒层,形成对载流子的能量势垒,该第一势垒层制作在过渡层上面;一量子阱层,起到将发光载流子限制在该层内的作用,该量子阱层制作在势垒层上面;一第二势垒层,形成与上势垒层对称的能量势垒,该第二势垒层制作在量子阱层上面;一表面覆盖保护层,用于保护量子阱结构,和制备接触电极,该表面覆盖保护层制作在第二势垒层上面。
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