[发明专利]用于被测装置具有近似控温管理的微型热处理室无效

专利信息
申请号: 200580010977.0 申请日: 2005-04-13
公开(公告)号: CN1997907A 公开(公告)日: 2007-07-11
发明(设计)人: S·N·罗伊 申请(专利权)人: 株式会社艾德温特斯特
主分类号: G01R31/317 分类号: G01R31/317;G01R31/319;G01R31/28
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 刘华联
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种使用流体控制被测装置温度的温度单元,该温度单元包括与被测装置相对设置的元件和移动该元件的执行器,并且该元件限定了两者之间的间隙,通过该间隙流体以间隙流速横穿过被测装置。通过调整这一间隙,流过被测装置的流体的流速改变,从而调整被测装置的温度。另外,该元件可以是加热元件,其产生的热透过间隙可被被测装置吸收,因此通过执行器对加热元件的调整改变横跨间隙的热阻。
搜索关键词: 用于 装置 具有 近似 管理 微型 热处理
【主权项】:
1.一种控制被测装置温度的温度单元,包括:与被测装置相对设置的加热元件,该加热元件产生的热能够由被测装置透过间隙所接收;及执行器移动加热元件,并在加热元件产生热量的同时调整间隙及改变被测装置所接收到的热量,以调整被测装置的温度。
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