[发明专利]碱性水溶液的精制方法有效
| 申请号： | 200580026016.9 | 申请日： | 2005-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN1993293A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 安藤敬二 | 申请（专利权）人： | 旭化成化学株式会社 |
| 主分类号： | C01D1/32 | 分类号： | C01D1/32;C01B31/08;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种碱性水溶液的精制方法，所述精制方法的特征是，通过使纤维状活性炭与碱性水溶液相接触，从而将碱金属和碱土类金属以外的金属成分从该碱性水溶液中除去。本发明还提供一种碱性水溶液的精制装置。本发明具有的效果是，能够将碱性水溶液中的Ni、铁等金属杂质减少到能够使该碱性水溶液作为硅片蚀刻剂使用的程度。 | ||
| 搜索关键词： | 碱性 水溶液 精制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碱性水溶液的精制方法，所述精制方法的特征是，通过使纤维状活性炭与碱性水溶液相接触，从而将碱金属和碱土类金属以外的金属成分从该碱性水溶液中除去。
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