[发明专利]气体激光装置、和鼓风机的监视方法以及监视装置

摘要

一种气体激光装置具备：具有在介质回路内使介质气体强制性循环的鼓风机的激光振荡部；和对鼓风机的维护状态进行监视的鼓风机监视部。鼓风机具有：存积润滑油的贮油室；和油监视室，其在比存积于贮油室的预定的适量润滑油的液面低的位置，与贮油室可液体流通地进行连通。鼓风机监视部具有：油检测部，其对存积在鼓风机的贮油室的润滑油作为贮油室的内压变化结果而流入并存在于油监视室的情况进行检测；和油更换判断部，其在启动激光振荡部之前，对油检测部是否检测出油监视室中的润滑油的存在进行监视，在油检测部没有检测出存在时，判断为存积在贮油室的润滑油为刚更换之后的润滑油。

主权项

1.一种气体激光装置，具备：具有强制性使介质气体(M)在介质回路(14)内循环的鼓风机(12)的激光振荡部(16)；和对该鼓风机的维护状态进行监视的鼓风机监视部(18)，其特征在于，所述鼓风机具有：存积润滑油(L)的贮油室(20)；和油监视室(22)，其在比该贮油室所存积的预定的适量润滑油(L)的液面(S)低的位置，与该贮油室可流通液体地进行连通，所述鼓风机监视部，具有：油检测部(24)，其对存积在所述鼓风机的所述贮油室的润滑油作为所述贮油室的内压变化结果而流入并存在于所述油监视室进行检测；和油更换判断部(26)，其在启动所述激光振荡部之前，对该油检测部是否检测出所述油监视室中的所述润滑油的存在进行监视，在该油检测部没有检测出该存在时，判断为存积在所述贮油室的所述润滑油为刚更换之后的润滑油。