[实用新型]晶圆支架无效
申请号: | 200720067625.5 | 申请日: | 2007-03-06 |
公开(公告)号: | CN201024212Y | 公开(公告)日: | 2008-02-20 |
发明(设计)人: | 曾玉帆;郭晓清;边逸军 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;H01L21/687 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种晶圆支架,用于承载晶圆,该晶圆支架包括底座和垂直设置在底座上的四根支柱,每个支柱的上段设有支柱槽;其中,支柱槽表面和支柱上表面的连接段设置为坡面。与现有技术相比,本实用新型支柱槽表面和支柱表面的连接段设置为坡面可以导引晶圆倾斜的边缘,而且坡面的摩擦系数较低,便于晶圆顺坡面缓慢下落,从而可以有效防止晶圆在支柱槽内倾斜。 | ||
搜索关键词: | 支架 | ||
【主权项】:
1.一种晶圆支架,用于承载晶圆,该晶圆支架包括底座和垂直设置在底座上的四根支柱,每个支柱的上段设有支柱槽;其特征在于:支柱槽表面和支柱上表面的连接段设置为坡面。
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