[实用新型]一种高温高压氦检漏装置

摘要

本实用新型公开了一种高温高压氦检漏装置，它由真空检漏装置、真空室加热及温控装置、工件预抽真空和充氦进排气装置、以及氦质谱检漏仪组合而成。本实用新型的优点在于：本检漏装置，使用效果稳定，检测方法简单，检测结果可靠，既能满足工件在常温、常压条件下的氦检漏，又能满足有一定检测压力和温度要求的工件的氦检漏，可满足在50～500℃温度下、工件内腔充氦压力在0.1～1.5MPa范围内的真空室法氦检漏，实现了在高温、高压条件下对被测工件的真空氦检漏，检测灵敏度高达0.5×10^－11Pa·m³/s。

主权项

1.一种高温高压氦检漏装置，包括有真空室(9)、检漏仪(1)、氦气瓶(11)，真空室(9)一端通过真空管路(29)与检漏仪(1)连通，真空室(9)另一端由密封法兰(10)密封并通过高压氦气管路(16)与氦气瓶(11)连接，其特征在于：在真空室(9)的壁外包装有加热炉(25)；在真空室(9)内插有热电偶(27)，它通过热电偶信号线(5)连接温控仪(7)；在真空室(9)的端部设置有系统标准漏孔(31)；真空管路(29)的一端与真空室(9)的端部连通，其上设置配有数显真空计(26)的真空规(28)，另一端有两个支路，一个支路通过检漏仪连接阀(30)连接所述检漏仪(1)，另一个支路则通过真空泵组连接阀(4)连接由机械真空泵(3)和分子泵(2)组成的泵组；在所述真空室密封法兰(10)上，设置有冷却水管(23)和真空密封接头(33)；在真空室(9)内部放置待测工件(8)，使其端部与工件进排气接管(24)接通，该接管(24)的一端穿过真空室的密封法兰(10)，另一端通过接管与高压氦气管路密封接头(34)连接；在真空室(9)装有密封法兰的一端，与高压氦气管路密封接头(34)连接的高压氦气管路(16)，其一端依次装有真空压力表(21)和高压氦气进气阀(20)，另一端有三个支路，第一个支路为带有高压排气阀(19)的高压氦气排气管路(18)，第二个支路依次通过高压氦气出气阀(17)及高压氦气开关阀(15)与氦气瓶(11)连接，第三个支路则通过真空承压阀(14)连接机械真空泵(12)。