[发明专利]图像转动装置及其应用无效
申请号: | 200780022269.8 | 申请日: | 2007-07-31 |
公开(公告)号: | CN101467024A | 公开(公告)日: | 2009-06-24 |
发明(设计)人: | 吕彤欣;王笑寒 | 申请(专利权)人: | 睿励科学仪器(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N21/00 | 分类号: | G01N21/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 郑立柱 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明揭示了一种检测待测器件的光学检测装置,该装置包括光源、图像旋转器、抛物面反射器以及一个或多个探测器,其中,所述光源提供一光束,该光束穿过所述图像旋转器并反射离开所述抛物面反射器,照射到待测器件上产生离开该待测器件的衍射光束,所述衍射光束再次反射离开所述抛物面反射器并穿过所述图像旋转器,被所述探测器接收。 | ||
搜索关键词: | 图像 转动 装置 及其 应用 | ||
【主权项】:
1. 一种光学检测装置,包括:光源;图像旋转器;抛物面反射器;一个或多个探测器;其中,所述光源提供一光束,该光束穿过所述图像旋转器并反射离开所述抛物面反射器,然后照射到待测器件上,从而产生离开所述待测器件的衍射光束,所述衍射光束接着反射离开所述抛物面反射器并经过所述图像旋转器,而后被所述探测器接收。
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