[发明专利]能输出单一离子能量的离子束发射源有效
| 申请号： | 200810018369.X | 申请日： | 2008-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101285167A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 徐均琪;杭凌侠;弥谦;苏俊宏;朱昌;严一心 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L21/3065;C23F4/00;H01J37/08 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种能输出单一离子能量的离子束发射源，以克服现有技术存在的引出离子并非具有单一能量，对薄膜质量影响较大，难以实现离子束辅助的重复性的问题。其技术方案是：包括气体放电室、聚焦磁场产生单元、离子能量选择器和扩束磁场产生单元，气体放电室中包括阳极、阴极和引出栅极板；所述离子能量选择器包括相对设置的上磁极板、下磁极板以及相对设置的第一电极板和第二电极板构成的选择筒，上磁极板、第一电极板、下磁极板和第二电极板之间夹设有极板绝缘件，选择筒两端的入口盖板和出口盖板中部均设置有能带限制通孔。现有技术相比，本发明的优点是：1.能够产生、引出单一能量的离子；2.离子能量可调；3.制造工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 输出 单一 离子 能量 离子束 发射 | ||
【主权项】：
1、一种能输出单一离子能量的离子束发射源，包括气体放电室，该气体放电室中包括阳极、阴极和引出栅极板，其特征在于：在引出栅极板一侧依次设置有聚焦磁场产生单元(1)、离子能量选择器和扩束磁场产生单元(9)；所述离子能量选择器包括相对设置的上磁极板(5)、下磁极板(10)以及相对设置的第一电极板(12)和第二电极板(15)构成的选择筒，上磁极板(5)、第一电极板(12)、下磁极板(10)和第二电极板(15)之间夹设有极板绝缘件(14)，所述上磁极板(5)和下磁极板(10)之间通过极靴(13)连接有位于选择筒外侧的主励磁线圈(11)，第一电极板(12)和第二电极板(15)上分别导通连接有第一电极(18)和第二电极(17)；选择筒的两端分别设置有以入口绝缘件(4)和出口绝缘件(6)相隔的入口盖板(3)和出口盖板(7)，入口盖板(3)和出口盖板(7)中部设置有能带限制通孔。
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