[发明专利]具有可变热导轮廓的处理系统平台

摘要

一种用于处理系统的平台包括第一热区和第二热区，第一热区和第二热区由至少一个边界分隔。第一流体导管位于第一热区中。第二流体导管位于第二热区中。流体储藏器具有耦接至第一流体导管的第一输出和耦接至第二流体导管的第二输出。流体储藏器向第一流体导管提供具有第一流体条件的流体，缘此向第一热区提供第一热导，且流体储藏器向第二流体导管提供具有第二流体条件的流体，缘此向第二热区提供第二热导，以便在平台中达成预定热导轮廓。

主权项

一种用于处理系统的平台，所述平台包括：a.第一热区与第二热区，由至少一个边界分隔；b.第一流体导管，位于所述第一热区；c.第二流体导管，位于所述第二热区；以及d.流体储藏器，具有耦接至所述第一流体导管的第一输出和耦接至所述第二流体导管的第二输出，所述流体储藏器向所述第一流体导管提供具有第一流体条件的流体，缘此向所述第一热区提供第一热导，且所述流体储藏器向所述第二流体导管提供具有第二流体条件的流体，缘此向所述第二热区提供第二热导，以便在所述平台中达成预定热导轮廓。