[发明专利]臭氧浓度传感器无效
| 申请号： | 201010129124.1 | 申请日： | 2005-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN101799405A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | S·莱文;J·塞沃特;J·洛尔;U·布拉默;J·菲特考 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G05D11/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 刘佳 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种装置和方法提供了对诸如臭氧化水中的臭氧等液体成分的测量。该装置(100)包括容纳液体的器皿(110)、被配置成引导第一光带和第二光带沿着基本共享的路径通过该器皿内的液体的光源(120、120a、120b)、以及感测该第一光带和第二光带的光电传感器(130)。该成分与第一光带相关联的吸收要大于与第二光带相关联的吸收。该方法包括响应于所感测的第二光带而对该组分的被测属性进行修改以改善被测属性的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 臭氧 浓度 传感器 | ||
【主权项】：
一种用于测量液体成分的装置，所述装置包括：容纳所述液体的器皿；光源，被配置成引导第一光带和第二光带沿着基本共享的路径通过所述器皿内的液体，其中所述成分具有的与所述第一光带相关联的吸收要大于与所述第二光带相关联的吸收；以及光电传感器，感测沿着所述基本共享的路径通过的所述第一光带和所述第二光带。
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