[发明专利]一种波像差校正系统与方法有效
| 申请号： | 201010155819.7 | 申请日： | 2010-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102236260A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 段立峰;马明英 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种波像差校正系统和利用该系统进行波像差校正的方法。所述系统包括投影物镜和与投影物镜相结合的波像差校正装置，其中，投影物镜具有多个折射镜和多个反射镜，该多个反射镜中具有一个或多个变形反射镜，波像差校正装置具有波像差测量系统、信号处理系统和一个或多个驱动单元，投影物镜对位于物面处的波像差测量图形进行成像，波像差测量系统在像面处测量投影物镜的波像差，信号处理系统对波像差测量系统测得的波像差进行处理且能产生控制信号，所述一个或多个驱动单元与投影物镜中的一个或多个变形反射镜相结合并根据控制信号驱动变形反射镜的不同点产生不同的位移，所述波像差测量系统、信号处理系统、驱动单元和投影物镜形成闭环回路，实现对投影物镜波像差的实时校正。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波像差 校正 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种波像差校正系统，该系统包括投影物镜和与投影物镜相结合的波像差校正装置，其特征在于，投影物镜具有多个折射镜和多个反射镜，该多个反射镜中具有一个或多个变形反射镜，波像差校正装置具有波像差测量系统、信号处理系统和一个或多个驱动单元，投影物镜对位于物面处的波像差测量图形进行成像，波像差测量系统在像面处测量投影物镜的波像差，信号处理系统对波像差测量系统测得的波像差进行处理且能产生控制信号，所述一个或多个驱动单元与投影物镜中的一个或多个变形反射镜相结合并根据控制信号驱动变形反射镜的不同点产生不同的位移，所述波像差测量系统、信号处理系统、驱动单元和投影物镜形成闭环回路，实现对投影物镜波像差的实时校正。
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