[发明专利]气体环境缓冲装置

摘要

本发明公开了一种气体环境缓冲装置，设于两个不同气体环境设备之间以将基片从第一气体环境设备过渡到第二气体环境设备，包括控制装置、传感器、真空室、连接所述真空室与第一气体环境设备的第一闸阀、连接真空室与第二气体环境设备的第二闸阀、设于真空室内的传输机构及与真空室连通的抽气充气机构，该控制装置分别与第一闸阀、第二闸阀、传感器及抽气充气机构电连接，该控制装置控制第一闸阀打开并控制传输机构将基片送入真空室，传感器检测基片完全进入真空室内并通过控制装置控制第一闸阀关闭及传输机构停止传输所述基片，同时控制装置控制抽气充气机构对真空室依次进行抽气和充气，直到真空室的气压与第二气体环境设备内的压力相同后，控制装置控制第二闸阀打开并控制传输机构将所述基片送出真空室。

主权项

一种气体环境缓冲装置，设于两个不同气体环境设备之间以将基片从第一气体环境设备过渡到第二气体环境设备，其特征在于：包括控制装置、传感器、真空室、连接所述真空室与第一气体环境设备的第一闸阀、连接所述真空室与第二气体环境设备的第二闸阀、设于所述真空室内的传输机构及与所述真空室连通的抽气充气机构，所述控制装置分别与所述第一闸阀、第二闸阀、传感器及抽气充气机构电连接，所述控制装置控制所述第一闸阀打开并控制所述传输机构将所述基片送入所述真空室，所述传感器检测所述基片完全进入所述真空室内并通过所述控制装置控制所述第一闸阀关闭及所述传输机构停止传输所述基片，同时所述控制装置控制所述抽气充气机构对所述真空室依次进行抽气和充气，直到所述真空室的气压与所述第二气体环境设备内的压力相同后，所述控制装置控制所述第二闸阀打开并控制所述传输机构将所述基片送出所述真空室。