[发明专利]薄膜贴附装置及贴附方法有效
申请号: | 201080055049.7 | 申请日: | 2010-09-08 |
公开(公告)号: | CN102656508A | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | 韩东熙 | 申请(专利权)人: | 韩东熙 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人: | 郑青松 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明的薄膜贴附装置包括:基板吸附单元,具有供基板吸附的基板吸附板及基板运送用回转台,所述基板运送用回转台供所述基板吸附板能移动地加装,为把所述基板吸附板移动到贴附位置而旋转;薄膜吸附单元,具有薄膜吸附板、薄膜运送用回转台及薄膜吸附板倾摆装置,其中,所述薄膜吸附板供将贴附于所述基板的薄膜吸附,所述薄膜运送用回转台供所述薄膜吸附板加装,为把所述薄膜吸附板移动到所述贴附位置而旋转,使所述薄膜吸附板与所述基板吸附板面对面,所述薄膜吸附板倾摆装置加装于所述薄膜运送用回转台,使移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板向所述基板吸附板侧倾摆;基板吸附板移送装置,配置于所述贴附位置,当移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板倾摆,所述薄膜吸附板上吸附的所述薄膜的一端贴附于所述基板吸附板上吸附的所述基板时,移动所述基板吸附板,使所述薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于所述基板;以及真空泵,为一个以上,用于向所述基板吸附板及所述薄膜吸附板提供真空压力。基板吸附板移送装置为一个,配置于贴附位置。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种薄膜贴附装置,其特征在于,包括:基板吸附单元,具有供基板吸附的基板吸附板及基板运送用回转台,所述基板运送用回转台供所述基板吸附板能移动地加装,为把所述基板吸附板移动到贴附位置而旋转;薄膜吸附单元,具有薄膜吸附板、薄膜运送用回转台及薄膜吸附板倾摆装置,其中,所述薄膜吸附板供将贴附于所述基板的薄膜吸附,所述薄膜运送用回转台供所述薄膜吸附板加装,为把所述薄膜吸附板移动到所述贴附位置而旋转,使所述薄膜吸附板与所述基板吸附板面对面,所述薄膜吸附板倾摆装置加装于所述薄膜运送用回转台,使移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板向所述基板吸附板侧倾摆;基板吸附板移送装置,配置于所述贴附位置,当移动到所述贴附位置的所述薄膜吸附板倾摆,所述薄膜吸附板上吸附的所述薄膜的一端贴附于所述基板吸附板上吸附的所述基板时,移动所述基板吸附板,使所述薄膜由其一端至另一端渐进地贴附于所述基板;以及真空泵,为一个以上,用于向所述基板吸附板及所述薄膜吸附板提供真空压力。
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