[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201110097553.X | 申请日： | 2011-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102252789A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 德田智久;东条博史;木田希 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王轶;李伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种小型且高性能的压力传感器。该压力传感器具备：传感器芯片(10)；设置于传感器芯片(10)的中央部的差压用隔膜(4)；设置在差压用隔膜(4)的第1端边上且沿着相对于差压用隔膜(4)的中心的径向形成的第1差压用测定元件(5c)；设置在差压用隔膜(4)的第1端边上的第1差压用测定元件(5c)的附近、沿着与径向垂直的周方向形成的第2差压用测定元件(5a)；设置在差压用隔膜(4)的外侧、且配置在差压用隔膜(4)的除了第1端边以外的其他端边的任一个与传感器芯片(10)的端部之间的静压用隔膜(17)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，其特征在于，具备：基板；差压用隔膜，该差压用隔膜设置于所述基板的中央部；第1差压用测定元件，该第1差压用测定元件设置在所述差压用隔膜的第1端边上，且沿着相对于所述差压用隔膜的中心的径向形成；第2差压用测定元件，该第2差压用测定元件设置在所述差压用隔膜的所述第1端边上的所述第1差压用测定元件的附近，且沿着与所述径向垂直的周方向形成；以及静压用隔膜，该静压用隔膜设置在所述差压用隔膜的外侧，且配置在所述差压用隔膜的除了所述第1端边以外的其他端边的任一个与所述基板的端部之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社山武，未经株式会社山武许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110097553.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
