[发明专利]谐振器有效
| 申请号： | 201110181441.2 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102315827A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·兰德 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/013 | 分类号： | H03H3/013 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制造MEMS谐振器的方法，MEMS谐振器由第一材料和第二材料构成，第一材料具有第一杨氏模量和第一杨氏模量的第一温度系数，第二材料具有第二杨氏模量和第二杨氏模量的第二温度系数，至少在谐振器的工作条件内，第二温度系数的符号与第一温度系数的符号相反，所述方法包括以下步骤：由第一材料形成谐振器；以及将第二材料涂覆至谐振器；以及通过谐振器的几何结构来控制涂覆到谐振器的第二材料的量。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 | ||
【主权项】：
一种制造MEMS谐振器的方法，所述MEMS谐振器由第一材料和第二材料形成，所述第一材料具有第一杨氏模量和第一杨氏模量的第一温度系数，所述第二材料具有第二杨氏模量和第二杨氏模量的第二温度系数，至少在谐振器的工作条件内，第二温度系数的符号与第一温度系数的符号相反，所述方法包括以下步骤：由第一材料形成谐振器；将第二材料涂覆至谐振器；以及通过谐振器的几何结构来控制涂覆到谐振器的第二材料的量。
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