[发明专利]阀箱模块

摘要

本发明涉及一种阀箱模块，其包含一第一气体输入管线、至少一第一气体输出管线及至少一第二气体管线组。该第一气体输出管线连通于该第一气体输入管线，用来输出经由该第一气体输入管线所输入的一第一气体。该第二气体管线组连通于该第一气体输出管线，包含至少一第二气体输出管线、一气体阻断阀装置及一第二气体输入管线。该第二气体输出管线用来输出该第一气体或一第二气体。该气体阻断阀装置设置于该第二气体输出管线上，用来选择性地阻断该第一及第二气体输出管线之间的连通。该第二气体输入管线用来输入该第二气体至该第二气体输出管线。本发明不仅可提升阀箱模块在气体供应上的使用弹性，还可解决先前技术中所提到半导体处理的产能的问题。

主权项

一种阀箱模块，其特征在于，包含：一第一气体输入管线；至少一第一气体输出管线，其连通于该第一气体输入管线，用来输出经由该第一气体输入管线所输入的一第一气体；以及至少一第二气体管线组，其连通于该第一气体输出管线，该第二气体管线组包含：至少一第二气体输出管线、一气体阻断阀装置和一第二气体输入管线，该第二气体输出管线用来输出该第一气体或一第二气体；该气体阻断阀装置设置于该第二气体输出管线上，用来选择性地阻断该第一气体输出管线以及该第二气体输出管线之间的连通；该第二气体输入管线连通于该第二气体输出管线，用来输入该第二气体至该第二气体输出管线。