[发明专利]薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材有效
| 申请号： | 201110299927.6 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102433532A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 黛良享;有泉久美子;吉田勇气;樱井英章 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;H01L31/048;H01L51/52;H01L51/54;B32B9/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 陈万青;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，上述第一氧化物粉末为MgO粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，上述第二氧化物粉末为CaO和ZnO的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～90∶95～10，且颗粒的碱度为0.1以上。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 用气相 沉积 具备 压片 | ||
【主权项】：
一种气相沉积材，为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，所述第一氧化物粉末为MgO粉末，所述第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，所述第二氧化物粉末为CaO和ZnO的混合粉末，所述第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，所述气相沉积材由含有所述第一氧化物粉末和所述第二氧化物粉末的颗粒构成，所述气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～90∶95～10，且所述颗粒的碱度为0.1以上。
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