[发明专利]离子束调整有效
| 申请号： | 201180045304.4 | 申请日： | 2011-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN103119688A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 常胜武;约瑟·C·欧尔森;法兰克·辛克莱;马太·P·麦卡伦 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/10 | 分类号： | H01J37/10;H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种束线式离子植入机，包括：离子源，其被配置为用以产生离子束；扫描器，其被配置为用以对离子束进行扫描，从而产生具有从扫描起点向外发散的轨迹的被扫描离子束；以及聚焦元件，其具有聚焦场，位于扫描器的上游，被配置为用以使离子束聚焦于位于扫描起点处的焦点。一种离子束调整方法包括：产生离子束；使离子束聚焦于位于扫描起点处的焦点；以及对离子束进行扫描，以产生具有从扫描起点向外发散的轨迹的被扫描离子束。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 调整 | ||
【主权项】：
一种束线式离子植入机，包括：离子源，其被配置为用以产生离子束；扫描器，其被配置为用以对所述离子束进行扫描，从而产生具有从扫描起点向外发散的轨迹的被扫描离子束；以及聚焦元件，其具有聚焦场，位于所述扫描器的上游，被配置为用以使所述离子束聚焦于位于所述扫描起点处的焦点。
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