[发明专利]电路图案检查装置

摘要

本发明提供一种电路图案检查装置，其设有对于检查电极对的电极所对向的导电图案部分检测缺陷的补充电极。

主权项

一种电路图案检查装置，其特征在于，包括：检查电极对，将多个导电图案形成为列状的基板作为检查对象，具有对于所述导电图案中的第一导电图案，同时对向的第一供电电极以及第一传感器电极；补充电极对，具有以夹持至少所述第一供电电极所对向的地方的部分的导电图案的方式进行分开，而以在同一导电图案上相对向的方式配置的第二供电电极以及第二传感器电极；移动部，将所述检查电极对与所述补充电极对一体地保持，在所述导电图案的上方以一定的距离分开，而在与该导电图案的列交叉的方向上移动；检查信号供给部，在利用所述移动部进行的所述检查电极对和所述补充电极对的移动中，对所述第一供电电极以及所述第二供电电极供给由交流信号构成的检查信号，并且使该检查信号依次施加于所述第一供电电极以及所述第二供电电极对向而电容耦合的各个导电图案上；以及缺陷判定部，将合并了分别与施加所述检查信号的所述导电图案电容耦合而通过所述第一传感器电极取得的第一检测信号、以及通过所述第二传感器电极从包含所述第一供电电极所对向的地方的部分的导电图案的导电体图案所取得的第二检测信号的检测信号，与事先规定的判定基准值进行比较而判断有无缺陷。