[发明专利]电性失效分析的测试方法及装置有效
| 申请号： | 201210093391.7 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN103364713A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 周第廷;陆磊;张宇飞;谢振;陈宏领 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/302 | 分类号： | G01R31/302 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电性失效分析的测试方法，包括：提供电性失效分析中各测试项的测试项函数；根据电性失效分析的测试需求，确定电性失效分析的测试项，基于测试项形成测试项关联数据，测试项关联数据与对应的测试项函数关联；提供对应测试需求的测试文件，测试文件包括关联于测试项的测试项关联数据及对应的测试参数；运行测试文件，获取测试结果；根据测试结果和测试需求，在需修改测试文件时，调整所述测试参数。本发明还提供了一种电性失效分析的测试装置。本发明提供的技术方案无需了解测试程序即可修改测试参数并且无需反复加载和编译测试程序即可灵活改变测试流。 | ||
| 搜索关键词： | 失效 分析 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种电性失效分析的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：提供电性失效分析中各测试项的测试项函数；根据电性失效分析的测试需求，确定电性失效分析的测试项，基于所述测试项形成测试项关联数据，所述测试项关联数据与所述测试项对应的测试项函数关联；提供对应所述测试需求的测试文件，所述测试文件包括关联于测试项的测试项关联数据及对应所述测试项关联数据的测试参数；运行所述测试文件，获取测试结果；根据测试结果和测试需求，在需修改测试文件时，调整所述测试参数。
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