[发明专利]同心环芯纳米硅微盘微腔器件及其制备方法无效
| 申请号： | 201210217253.5 | 申请日： | 2012-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102718180A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 钱波;李永垒;蒋春萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种同心环芯纳米硅微盘微腔器件及其制备方法，属于半导体光电子器件技术领域。该同心环芯纳米硅微盘微腔器件包括硅衬底和微盘，所述微盘包括同轴设置的外围微盘和内围微盘，内围微盘直接形成于外围微盘上，外围微盘与内围微盘的边缘部熔合形成环状盘腔结构，其中，内围微盘为含有硅纳米量子点结构的薄膜层。本发明将纳米硅量子点结构和微盘微腔结构有机结合，同时又把纳米硅发光区域与微盘环芯结构相分离，既利用了纳米硅良好的光增益特性，又减少了谐振过程中的非辐射自由载流子吸收，实现纳米硅同心环芯微腔的高效率的光发射，同时，该同心环芯纳米硅微盘微腔器件制备工艺简单，参数精确可调，与现行成熟的硅工艺相兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 同心 纳米 硅微盘微腔 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种同心环芯纳米硅微盘微腔器件，包括硅衬底和微盘，所述微盘经形成于硅衬底上微盘支柱与硅衬底连接，其特征在于，所述微盘包括同轴设置的外围微盘和内围微盘，所述内围微盘直接形成于外围微盘上，且所述外围微盘与内围微盘的边缘部熔合形成环状盘腔结构；所述的外围微盘为氧化硅薄膜层；所述内围微盘为含有硅纳米量子点结构的薄膜层。
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