[发明专利]制造基板的方法有效
| 申请号： | 201210599155.2 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103144012B | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 松井晴信;原田大实;渡部厚;上田修平;竹内正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;H01L21/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过送入浆料和使用抛光衬垫抛光基板表面来制造基板。抛光衬垫具有与基板表面相接触的多孔拉毛层，拉毛层由基础树脂制成，基础树脂包括至少三种树脂，一般是醚类树脂，酯类树脂和聚碳酸酯树酯。抛光基板具有非常平的表面和最小的缺陷数。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造基板的方法，包括使用抛光衬垫和抛光浆料抛光基板表面的步骤，所述抛光衬垫具有无纺支承物和形成于支承物表面的多孔拉毛层，其中所述多孔拉毛层由包括至少三种树脂的树脂组合物制成，该树脂组合物包含55‑85wt％的醚类树脂，10‑35wt％的酯类树脂，5‑10wt％的聚碳酸酯树酯和任选的其它树脂，拉毛层和基板表面相接触。
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