[实用新型]一种抛光过程中的陶瓷盘接引盘有效

专利信息
申请号: 201220177576.1 申请日: 2012-04-24
公开(公告)号: CN202574297U 公开(公告)日: 2012-12-05
发明(设计)人: 张世波;徐国科;胡孟君;卢峰;刘建刚;李方虎;周明飞;林晓华 申请(专利权)人: 浙江金瑞泓科技股份有限公司
主分类号: B62B3/00 分类号: B62B3/00
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所 31233 代理人: 宋缨;孙健
地址: 315800 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及一种抛光过程中的陶瓷盘接引盘,包括陶瓷盘,还包括水槽和推车,所述水槽底部设有安装所述陶瓷盘的安装座;所述推车上部设有用于放置所述水槽的平台。本实用新型利用接引设计可有效解决抛光结束后硅片表面因为抛光液腐蚀而产生的腐蚀坑或者表面沾污,同时通过推车方便操作人员人工搬运陶瓷盘,降低作业人员的劳动强度。
搜索关键词: 一种 抛光 过程 中的 陶瓷 接引
【主权项】:
一种抛光过程中的陶瓷盘接引盘,包括陶瓷盘(1),其特征在于,还包括水槽(2)和推车(7),所述水槽(2)底部设有安装所述陶瓷盘(1)的安装座(3);所述推车(7)上部设有用于放置所述水槽(2)的平台。
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