[发明专利]一种使用旋转径向光栅的斐索型同步移相干涉测试装置

摘要

本发明提供一种使用旋转径向光栅的斐索型同步移相干涉测试装置，包括斐索型干涉光路部分和多普勒频移调谐移相部分，且斐索型干涉光路部分位于多普勒频移调谐移相部分的前端，其中斐索型干涉光路部分由激光器、扩束镜、分光镜、第一准直物镜、参考镜和测试镜依次排列组成；多普勒频移调谐移相部分包括第二准直物镜、电机、径向光栅、成像透镜和探测器依次排列组成，上述所有光学器件相对于基底同轴等高，即相对于光学平台或仪器底座同轴等高；本发明具有能够实现大口径光学元件在长腔长测试环境下的面形动态测量的优点，且成本较低。

主权项

一种使用旋转径向光栅的斐索型同步移相干涉测试装置，其特征在于：包括斐索型干涉光路部分[12]和多普勒频移调谐移相部分[13]，且斐索型干涉光路部分[12]位于多普勒频移调谐移相部分[13]的前端，其中斐索型干涉光路部分[12]由激光器[1]、扩束镜[2]、分光镜[3]、第一准直物镜[4]、参考镜[5]和测试镜[6]依次排列组成；多普勒频移调谐移相部分[13]包括第二准直物镜[7]、电机[8]、径向光栅[9]、成像透镜[10]和探测器[11] 依次排列组成，上述所有光学器件相对于基底同轴等高，即相对于光学平台或仪器底座同轴等高；激光器[1]发出的光经扩束镜[2]扩束，透过分光镜[3]，再经过第一准直物镜[4]准直成平行光，平行光入射到参考镜[5]上，一部分反射后形成参考光，另一部分透过参考镜[5]入射到测试镜[6]上，反射后形成测试光，之后参考光和测试光沿原路反射回分光镜[3]，经分光镜[3]反射后进入后续的多普勒频移调谐移相部分[13]中；斐索型干涉光路部分[12]得到的参考光和测试光经过第二准直物镜[7]后准直成平行光，再经过旋转径向光栅[9]形成0级和±1级衍射光，三束不同频率的衍射光以不同的角度入射到成像透镜[10]上，经成像透镜[10]成像在探测器[11]像面的不同位置上。