[发明专利]改性层形成方法在审
| 申请号： | 201310183380.2 | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN103418908A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 关家一马 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种改性层形成方法，即使脉冲激光光线的聚光点位于被加工物的表面，也不会引起烧蚀。在该改性层形成方法中，使聚光点位于被加工物的内部，从预定的照射面照射相对于被加工物具有穿透性的波长的脉冲激光光线，由此在被加工物的内部形成期望的改性层，在被加工物的与照射面相邻的面位于脉冲激光光线的照射位置时，使脉冲激光光线的输出降低到无法加工被加工物的输出。 | ||
| 搜索关键词： | 改性 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种改性层形成方法，其对被加工物照射相对于被加工物具有穿透性的波长的脉冲激光光线，从而在被加工物的内部形成改性层，其特征在于，所述改性层形成方法具备：改性层形成步骤，在该改性层形成步骤中，在使聚光点位于被加工物的内部的状态下，经由与脉冲激光光线的光路正交的照射面对被加工物照射脉冲激光光线，由此在被加工物的内部形成改性层；以及输出降低步骤，在该输出降低步骤中，在被加工物的与所述照射面相邻的面位于脉冲激光光线的照射位置时，使脉冲激光光线的输出降低到无法加工被加工物的输出。
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