[发明专利]半导体检查装置以及半导体检查方法无效
| 申请号： | 201310374109.7 | 申请日： | 2013-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN103852703A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 西薗正实 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 半导体检查装置具备测试程序执行部，依测试程序向被测定对象元件的测试信号输入引脚提供规定信号执行测试程序；信号稳定状况检测部，在测试程序的执行中检测被测定对象元件的信号输出引脚信号的不稳定区域及稳定区域；测试时间计算部，根据信号稳定状况检测部检测的不稳定区域及稳定区域，计算具有从不稳定区域的期间到其后的稳定区域的开头侧一部分期间的时间宽度的最佳测试时间；测试程序修正部，使最佳测试时间反映于测试程序；信号波形取入部，根据测试程序修正部使最佳测试时间反映于测试程序后的测试程序中记述的测试时间，取入被测定对象元件的信号输出引脚的信号，测试程序执行部再次执行测试程序修正部反映最佳测试时间之后的测试程序。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体检查装置，具备：测试程序执行部，依照测试程序向被测定对象元件的测试信号输入引脚提供规定的信号，执行所述测试程序；信号稳定状况检测部，在所述测试程序的执行过程中，检测被测定对象元件的信号输出引脚的信号的不稳定区域以及稳定区域；测试时间计算部，根据由所述信号稳定状况检测部检测出的不稳定区域以及稳定区域，计算具有从所述不稳定区域的期间到其后的所述稳定区域的开头侧的一部分的期间为止的时间宽度的最佳测试时间；测试程序修正部，使所述最佳测试时间反映于所述测试程序；以及信号波形取入部，根据将由所述测试程序修正部使所述最佳测试时间反映于所述测试程序后的所述测试程序中记述的测试时间，取入被测定对象元件的信号输出引脚的信号，所述测试程序执行部再次执行由所述测试程序修正部反映了所述最佳测试时间之后的所述测试程序。
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