[发明专利]表面特征映射有效

专利信息
申请号: 201380035014.0 申请日: 2013-05-09
公开(公告)号: CN104412079B 公开(公告)日: 2018-03-27
发明(设计)人: J·W·艾和;S·K·麦克劳林 申请(专利权)人: 希捷科技有限公司
主分类号: G01J1/10 分类号: G01J1/10
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司31100 代理人: 姬利永
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本文中所提供的是一种装置,包括用于将光子发射到物品的表面上的光子发射装置;用于检测从物品的表面中的特征散射的光子的光子检测装置;以及用于映射物品的表面中的特征的映射装置,其中此装置被配置成每100秒处理多于一个物品。
搜索关键词: 表面 特征 映射
【主权项】:
一种装置,包括:光子发射器,被配置成将光子发射到物品的整个表面上;光子检测器阵列,包括被配置成接收从所述物品的整个表面中的特征散射的光子的多个光子检测器;以及映射装置,用于映射所述物品的整个表面中的特征,其中所述装置被配置成通过分析在所述多个光子检测器处接收的光子来确定所述物品的整个表面中的特征的尺寸、数量和/或位置,并且所述装置可操作以快于每100秒一个物品的速率处理多个物品,其中所述装置被配置成登记所述多个物品的表面中的特征并确定关于所述多个物品的表面中的特征的趋势。
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