[发明专利]带电粒子束装置以及试样观察方法在审
| 申请号： | 201380041332.8 | 申请日： | 2013-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104520965A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 大南佑介;铃木宏征;河西晋佐;安岛雅彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/16;H01J37/18 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;文志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 现有的带电粒子束装置都是为了大气压下或与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而专门制造的装置，而不存在使用通常的高真空型带电粒子显微镜能够简便地进行大气压下或与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在现有技术的方法中，没有控制隔膜与试样的距离的方法，存在隔膜破损的可能性高的问题。因此，本发明的特征在于具备：可拆卸的隔膜，其将放置了试样的空间隔离，以便保持放置了试样的空间的压力大于所述壳体内部的压力，并使一次带电粒子束透射或通过；接触防止部件，其防止试样与隔膜接触；以及调整机构，其可使接触防止部件的至少一部分在带电粒子光学镜筒的光轴方向上移动。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 以及 试样 观察 方法 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束装置，其具备向试样上照射一次带电粒子束的带电粒子光学镜筒和真空泵，其特征在于，具备：壳体，其构成所述带电粒子束装置的一部分，通过所述真空泵对内部进行真空排气；可装卸的隔膜，其对放置了所述试样的空间进行隔离，以便保持放置了所述试样的空间的压力大于所述壳体内部的压力，并且使所述一次带电粒子束透射或通过；接触防止部件，其防止所述试样与所述隔膜的接触；以及调整机构，其能够使所述接触防止部件的所述试样与所述隔膜接触的位置在所述带电粒子光学镜筒的光轴方向上移动。
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