[发明专利]表面特征表征有效
| 申请号： | 201380053262.8 | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN104704320B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | J·艾和;K·麦克劳林;S·王;H·洛特 | 申请（专利权）人： | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/956 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 姬利永 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中所提供的是一种装置，包括光子检测器阵列，配置成接收从物品的表面中的特征散射的光子；以及表征装置，用于表征该物品的该表面中的这些特征，其中此表征装置对比了与从该物品的该表面中的这些特征散射的两组光子相对应的来自光子检测器阵列的信号，并且此两组光子分别地源自不同位置处的光子发射器。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 特征 表征 | ||
【主权项】：
一种用于表面特征表征的装置，包括：两个光子发射器，配置成将光子发射到物品的同一表面上，包括闪光灯，配置成在检测从所述物品的所述同一表面中的特征散射的光子时最小化振动；光子检测器阵列，包括配置成接收从所述物品的所述同一表面中的特征散射的光子的多个光子检测器；映射装置，用于映射所述物品的所述同一表面中的特征，其中所述映射装置提供分别地对应于所述两个光子发射器的所述物品的所述同一表面中的特征的两个映射；表征装置，用于基于所述特征的光子散射强度分布来表征所述物品的所述同一表面的特征。
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