[发明专利]在线自动修复基板缺陷的系统及其方法有效
| 申请号： | 201410663574.7 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN105665919B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/20;B23K26/36;B23K26/70 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在线自动修复基板缺陷的系统及方法，所述系统包括激光单元、光学单元、监控装置以及反馈装置；通过激光单元、光学单元以及监控装置的使用，可以精确扫描基板的缺陷，实现了高精度扫描；同时，设置反馈装置，反馈装置接收监控装置传输的基板缺陷的扫描信息，通过分析将扫描结果反馈至激光单元，从而调整激光的波长与能量，在线自动对缺陷进行移除或修补，节省了修复时间，避免了手动修复造成的人力资源的浪费，降低缺陷修复成本，提高了修复效率。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 自动 修复 缺陷 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在线自动修复基板缺陷的系统，其特征在于，包括：激光单元、光学单元、监控装置以及反馈装置；所述激光单元用于发射激光；所述光学单元用于反射所述激光至基板，从而扫描所述基板的缺陷信息；所述监控装置用于接收从所述基板反射并通过所述光学单元的扫描信息，并将所述扫描信息传输至所述反馈装置；所述反馈装置用于分析所述扫描信息得出扫描结果并将扫描结果反馈至所述激光单元；以及所述激光单元用于根据扫描结果的不同输出不同能量及波长的激光并通过所述光学单元反射至所述基板，以对所述缺陷进行移除或修补。
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