[发明专利]安全的位置测量装置

摘要

本发明涉及一种用于扫描整体量具（20）的探针头（30），在所述整体量具上沿着测量方向（25）周期地构造有具有周期（27）的标记（22），其中所述探针头（30）具有数字信号处理装置（11）和至少两个用于通过扫描所述标记（22）来产生传感器信号（36、35）的单个传感器（40），其中所述数字信号处理装置（11）被设立用于，从所述传感器信号（36、35）中产生至少一个高精确的输出信号（60），其中所述探针头被设立用于，输出至少两个不同类型的输出信号（60、61、62），其中所述至少两个不同类型的输出信号（60、61、62）包括至少一个安全的输出信号（61、62）和至少一个高精确的输出信号（60）。

主权项

1.用于扫描整体量具（20）的探针头（30），在所述整体量具上沿着测量方向（25）周期地构造有具有周期（27）的标记（22），所述探针头（30）具有：至少两个用于通过扫描所述标记（22）来产生传感器信号（36、35）的单个传感器（40），数字信号处理装置（11），其连接到所述至少两个单个传感器并且被设立用于，(i)从所述至少两个单个传感器接收所述传感器信号，以及(ii)通过数字信号处理从所述传感器信号（36、35）中产生至少一个数字制备的输出信号（60），连接到所述至少两个单个传感器中至少一个单个传感器的至少一个信号预处理单元（70），其具有信号放大器（51）和信号解调器（50），并且被设立用于，(i)从所述至少两个单个传感器接收所述传感器信号，以及(ii)通过模拟信号处理从所述传感器信号（36、35）中产生至少一个模拟制备的输出信号，至少一个数字输出端，其被配置为连接到分析单元，在所述至少一个数字输出端上输出所述至少一个数字制备的输出信号，以及至少一个模拟输出端，其被配置为连接到所述分析单元，在所述至少一个模拟输出端上输出所述至少一个模拟制备的输出信号，其中所述信号解调器（50）传输信号地与所述数字信号处理装置（11）连接，以便将偏差信号输送给所述数字信号处理装置（11），以及其中所述信号放大器（51）传输信号地与所述数字信号处理装置（11）连接，以便从所述数字信号处理装置（11）获得放大因子，其中所述数字信号处理装置（11）被设立用于借助所述偏差信号确定所述放大因子。