[实用新型]一种用于半导体湿法清洗的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体湿法清洗的装置，包括底部支撑单元、花篮定位单元、有机化学液替代遮挡单元、氮气鼓泡单元。所述底部支撑单元与花篮定位单元通过不锈钢螺钉紧密连接在一起，然后将有机化学液替代遮挡单元通过定位杆与底部支撑单元结合在一起，最后在底部支撑单元下面放置氮气鼓泡单元达到均匀有机化学液浓度的目的。本实用新型装置可以有效的降低有机化学液的使用量，并且不会对有机化学液的特性和均匀性产生影响，从而影响原产品作业时的质量。

主权项

一种用于半导体湿法清洗的装置，所述装置包括底部支撑单元、花篮定位单元、有机化学液替代遮挡单元和氮气鼓泡单元；其中，所述底部支撑单元，用于花篮的支撑以及增加花篮与有机化学液槽底板之间的高度；其中，所述花篮定位单元，通过螺钉与底部支撑单元连接在一起，以对花篮在有机化学液槽内的位置进行定位；其中，所述有机化学液替代遮挡单元，通过定位杆与底部支撑单元结合在一起，以替代有机有机化学液体积；其中，所述氮气鼓泡单元，放置在底部支撑单元下面，以均匀有机化学液浓度。