[发明专利]静电分布测量装置以及静电分布测量方法在审
申请号: | 201480041180.6 | 申请日: | 2014-03-13 |
公开(公告)号: | CN105431744A | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 菊永和也;野中一洋 | 申请(专利权)人: | 独立行政法人产业技术综合研究所 |
主分类号: | G01R29/12 | 分类号: | G01R29/12;G01R29/24 |
代理公司: | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人: | 宋菲;刘云贵 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供对测量对象物(200)的测量面上的静电分布进行测量的静电分布测量装置(1),其具有:阵列天线(2),其接收由振动在测量面上的多个区域(211)的每个区域内产生的电场;振动单元(3),其使测量对象物(200)或阵列天线(2)振动;测量单元(4),其对阵列天线(2)接收的多个区域(211)的每个区域内的电场的强度、频率以及相位的至少一个进行测量;计算单元(5),其根据测量单元(4)的测量结果,对多个区域(211)的每个区域内的静电量进行计算;以及描绘单元(6),其根据多个区域(211)的每个区域内的静电量,对测量面上的静电分布进行描绘,阵列天线(2)具有对应于多个区域(211)的每个区域的多个天线元件(21)。 | ||
搜索关键词: | 静电 分布 测量 装置 以及 测量方法 | ||
【主权项】:
一种静电分布测量装置,其对测量对象物的测量面上的静电分布进行测量,其中,所述静电分布测量装置具有:阵列天线,其接收由振动在所述测量面上的多个区域的每个区域内产生的电场;振动单元,其使所述测量对象物或所述阵列天线振动;测量单元,其对所述阵列天线接收的所述多个区域的每个区域内的所述电场的强度、频率以及相位的至少一个进行测量;计算单元,其根据所述测量单元的测量结果,对所述多个区域的每个区域内的静电量进行计算;以及描绘单元,其根据所述多个区域的每个区域内的静电量,对所述测量面上的静电分布进行描绘,所述阵列天线具有对应于所述多个区域的每个区域的多个天线元件。
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