[发明专利]多电极堆叠布置有效
| 申请号： | 201480071827.X | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN105874556B | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | W.H.乌尔巴努斯;M.J-J.维兰德 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/065 | 分类号： | H01J37/065;H01J37/317;H01J37/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 高巍 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电极堆叠(70)，其包括用于操纵沿着光轴(A)的带电粒子束的堆叠的电极(71‑80)。每个电极包括电极主体，该电极主体具有用于所述带电粒子束的孔。电极主体相互间隔开并且电极孔沿着光轴同轴地对准。电极堆叠包括介于每一对相邻的电极之间的电绝缘间隔结构(89)，电绝缘间隔结构(89)用于沿着轴向方向(Z)以预定相互距离来定位电极(71‑80)。第一电极和第二电极各自包括具有一个或多个支撑部分(86)的电极主体，其中每个支撑部分被配置为容纳至少一个间隔结构(89)。电极堆叠具有至少一个夹紧构件(91‑91c)，夹紧构件(91‑91c)被配置为将第一电极和第二电极的支撑部分(86)以及中间间隔结构(89)保持在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 堆叠 布置 | ||
【主权项】：
一种电极堆叠，其中所述电极堆叠包括：‑多个堆叠的电极，其用于操纵沿着光轴的带电粒子束，其中每个电极包括具有电极孔的电极主体，所述电极孔用于容许所述带电粒子束通过，其中所述电极主体沿着与所述光轴平行的轴向方向(Z)相互间隔开，并且其中所述电极孔沿着所述光轴同轴地对准，以及‑间隔结构，其主要由电绝缘材料构成，并且布置在每一对相邻的电极之间，以用于沿着所述轴向方向以预定相互距离来定位所述电极；其中第一电极和第二电极各自包括具有一个或多个支撑部分的电极主体，其中每个支撑部分被配置为容纳至少一个间隔结构，其中所述电极堆叠形成有至少一个夹紧构件，所述至少一个夹紧构件被配置以用于将所述第一电极和所述第二电极的相应的支撑部分与位于所述第一电极和所述第二电极之间的所述至少一个间隔结构保持在一起。
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